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滑环在单晶炉方面的应用标准

发布人: 发布时间:2019-03-07


单晶炉是一种在比较惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅的等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉型号有两种命名的方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的。单晶炉的构成主要包括:

提拉头:主要由安装盘减速机籽晶腔划线环电机磁流体籽晶称重头软波纹管、
导电滑环等其他部件组成

副室:主要是副室筒以及上下及法兰组成

炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗抽真空管道组成

炉筒:包括取光孔

下炉筒:包括抽真空管道

底座机架:主要是全铸铁机架和底座

坩埚下传动装置:主要由磁流体电机坩埚支撑轴减速机软波纹管立柱上下传动支撑架导轨等部件组成

分水器已经是水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管水管卡套等

氩气管道布置:质量流量计3根以上的柔性管不锈钢管3个压力探测器高密封性卡套等部件

真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵水环真空泵过滤器真空管道硬波纹管等

电源以及电控柜:电源柜滤波柜控制柜以及连接线。

  导电滑环作为单晶炉上一个重要的零配件,也起着非常重要的作用。导电滑环是用于提拉头信号传输及电源供给的,通过360°的旋转来传递电流及信号。所以一旦导电滑环出现故障,提拉头信号就无法正常传输,就会导致单晶炉无法正常运作。

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